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高分辨率X射線成像系統(tǒng)
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微焦點CT-半導體元器件X射線顯微成像系統(tǒng)是一種基于X射線的成像技術,使用微型計算機斷層掃描技術(Micro Computed Tomography)。包括掃描和重構(gòu)兩個主要部分,Micro/Nano 表明其分辨率可達到微米/亞微米級別。
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